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      聚焦離子束掃描電子顯微鏡系統的原理和功能介紹

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      聚焦離子束掃描電子顯微鏡(Focused Ion Beam-Scanning Electron Microscope,簡(jiǎn)稱(chēng)FIB-SEM)雙束系統是指同時(shí)具備聚焦離子束(FIB)和掃描電子顯微鏡(SEM)功能的系統。

      系統原理:首先離子源產(chǎn)生離子束被聚光鏡匯聚為極細的聚焦離子束,聚焦離子束通過(guò)控制線(xiàn)圈控制對指定的位置進(jìn)行加工刻蝕;電子源產(chǎn)生電子束被聚光鏡匯聚為極細的聚焦電子束,聚焦電子束通過(guò)掃描線(xiàn)圈對樣品進(jìn)行掃描,獲得各個(gè)被加工位置的實(shí)時(shí)圖像,從而實(shí)現對加工過(guò)程的實(shí)時(shí)監控。

      聚焦離子束掃描電子顯微鏡主要功能包括:

      ①電子束成像,用于定位樣品、獲取微觀(guān)結構和監測加工過(guò)程;

      ②離子束刻蝕,用于截面觀(guān)察和圖形加工;

      ③氣體沉積,用于圖形加工和樣品制備;

      ④顯微切割制備微米大小納米厚度的超薄片試樣(厚度小于<100 nm),用于后續的TEM和同步輻射STXM等相關(guān)分析;

      ⑤顯微切割制備納米尺寸的針尖狀樣品,用于后續的APT分析,獲取其微量元素和同位素信息;

      ⑥綜合SEM成像、FIB切割及EDXS化學(xué)分析,對試樣進(jìn)行微納尺度的三維重構分析等。

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