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      FIB雙束電鏡

      FIB雙束電鏡

      • 訪(fǎng)問(wèn)量:3548
      • 更新日期:2023-03-20
      • 產(chǎn)品介紹:新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡經(jīng)過(guò)精心設計,可滿(mǎn)足材料科學(xué)研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是有挑戰性的樣品。
      • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商

      產(chǎn)品介紹

      品牌FEI/賽默飛

      新一代的賽默飛世爾科技 Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡具有 Helios 5 產(chǎn)品系列高性能成像和分析性能。它經(jīng)過(guò)精心設計,可滿(mǎn)足材料科學(xué)研究人員和工程師對廣泛的 FIB-SEM 使用需求,即使是具有挑戰性的樣品。


      Helios 5 DualBeam FIB雙束電鏡重新定義了高分辨率成像的標準:較高的材料對比度,快、簡(jiǎn)單、準確的高質(zhì)量樣品制備,用于 S/TEM 成像和原子探針斷層掃描(APT)以及高質(zhì)量的亞表面和 3D 表征。在 Helios DualBeam 系列久經(jīng)考驗的性能基礎上,新一代的 Helios 5 DualBeam 進(jìn)行了改進(jìn)優(yōu)化,所有這些都旨在確保系統處于手動(dòng)或自動(dòng)工作流程的運行狀態(tài)。


      更易于使用:

      Helios 5 是所有體驗級別用戶(hù)容易使用的 DualBeam。操作員培訓可以從幾個(gè)月縮短到幾天,系統設計可幫助所有操作員在各種高級應用程序上實(shí)現一致、可重復的結果。


      提高了生產(chǎn)率:

      Helios 5 和 AutoTEM 5 軟件的先進(jìn)自動(dòng)化功能,增強的穩健性和穩定性允許無(wú)人值守甚至夜間操作,顯著(zhù)提高樣品制備通量。


      改善時(shí)間和結果:
      Helios 5 DualBeam 現在包括 FLASH,這是一種調整圖像的新概念。對于傳統的顯微鏡,每次操作員需要獲取圖像時(shí),必須通過(guò)迭代對中仔細調整顯微鏡。使用 Helios 5 DualBeam,屏幕上的簡(jiǎn)單手勢將激活 FLASH,將自動(dòng)調整這些參數。自動(dòng)調整可以顯著(zhù)提高通量、數據質(zhì)量并簡(jiǎn)化高質(zhì)量圖像的采集。


      半導體行業(yè)技術(shù)參數:



      Helios 5 CX

      Helios 5 HP

      Helios 5 UX

      Helios 5 HX

      Helios 5 FX


      樣品制備與XHR掃描電鏡成像

      終樣品制備(TEM薄片,APT)

      STEM亞納米成像與樣品制備

      SEM

      著(zhù)陸電壓

      20ev-30kev

      20ev-30kev

      分辨率

      0.6nm@15kev

      1.0nm@1kev

      0.6nm@2kev

      0.7nm@1kev

      1.0nm@500ev

      STEM

      分辨率@30kev

      0.7nm

      0.6nm

      0.3nm

      FIB制備過(guò)程

      大材料去除束流

      65nA

      100nA

      65nA

      終優(yōu)拋光電壓

      2kv

      500v

      TEM樣品制備

      樣品厚度

      50nm

      15nm

      7nm

      自動(dòng)化

      樣品處理

      行程

      110×110×65mm

      110×110×65mm

      150×150×10mm

      100×100×20mm

      100×100×20mm+5軸(S)TEMCompustage

      負載鎖

      手動(dòng)

      自動(dòng)

      手動(dòng)

      自動(dòng)

      自動(dòng)+自動(dòng)插入/提取STEM桿


      材料科學(xué)行業(yè)技術(shù)參數:

       

       

      Helios 5 CX

      Helios 5 UX

      離子光學(xué)

       

      具有優(yōu)越的高電流性能的Tomahawk HT 離子鏡筒

      具有優(yōu)越的大電流和低電壓性能的Phoenix離子鏡筒

      離子束電流范圍

      1 pA – 100 nA

      1 pA – 65 nA

      加速電圧

      500 V – 30 kV

      500 V – 30 kV

      大水平視場(chǎng)寬度

      在光束重合點(diǎn)時(shí)為0.9 mm

      在光束重合點(diǎn)時(shí)為0.7 mm

      離子源壽命

      1,000 hours

      1,000 hours

       

      兩級差動(dòng)泵

      兩級差動(dòng)泵

      飛行時(shí)間矯正

      飛行時(shí)間矯正

      15孔光闌

      15孔光闌

      電子光學(xué)

      Elstar超高分辨率場(chǎng)發(fā)射鏡筒

      Elstar超高分辨率場(chǎng)發(fā)射鏡筒

      磁浸沒(méi)物鏡

      磁浸沒(méi)物鏡

      高穩定性肖特基場(chǎng)發(fā)射槍提供穩定的高分辨率分析電流

      高穩定性肖特基場(chǎng)發(fā)射槍提供穩定的高分辨率分析電流

      電子束分辨率

      工作距離下

      0.6 nm at 30 kV STEM

      0.6 nm at 30 kV STEM

      0.6 nm at 15 kV

      0.7 nm at 1 kV

      1.0 nm at 1 kV

      1.0 nm at 500 V (ICD)

      0.9 nm at 1 kV 減速模式*

       

      在束流重合點(diǎn)

      0.6 nm at 15 kV

      0.6 nm at 15 kV

      1.5 nm at 1 kV 減速模式* and DBS*

      1.2 nm at 1 kV

      電子束參數

      電子束流范圍

      0.8 pA to 176 nA

      0.8 pA to 100 nA

      加速電壓范圍

      200 V – 30 kV

      350 V – 30 kV

      著(zhù)陸電壓

      20 eV – 30 keV

      20 eV – 30 keV

      大水平視場(chǎng)寬度

      2.3 mm at 4 mm WD

      2.3 mm at 4 mm WD

      探測器

      Elstar 鏡筒內 SE/BSE 探測器 (TLD-SE, TLD-BSE)

      Elstar i鏡筒內SE/BSE 探測器 (ICD)*

      Elstar 鏡筒內 BSE 探測器 (MD)*

      樣品室內Everhart-Thornley SE 探測器 (ETD)

      紅外相機

      高性能離子轉換和電子探測器(SE)*

      樣品室內樣品導航彩色光學(xué)相機Nav-Cam Camera*

      可伸縮式低電壓、高襯度、分割式固態(tài)背散射探測器(DBS)*

      可伸縮STEM 3+ 探測器*

      電子束流測量

      樣品臺和樣品

      樣品臺

      靈活五軸電動(dòng)

      壓電驅動(dòng)X(jué)YR軸的高精度五軸電動(dòng)工作臺

      XY

      110 mm

      150 mm

      Z

      65 mm

      10 mm

      R

      360° (連續)

      360° (連續)

      傾斜

      -15° to +90°

      -10° to +60°

      大樣品高度

      與優(yōu)中心點(diǎn)間隔85mm

      與優(yōu)中心點(diǎn)間隔55mm

      大樣品質(zhì)量

      樣品臺任意位置500 g

      樣品臺任意位置500 g

      0° 傾斜時(shí)大5kg

      大樣品尺寸

      直徑110 mm可沿樣品臺旋轉時(shí)

      直徑150 mm可沿樣品臺旋轉時(shí)

       

      優(yōu)中心旋轉和傾斜

      優(yōu)中心旋轉和傾斜




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